真空直線平台：
真空步進電機絲杆平台, 真空電機直線滑台, 真空直線平台,真空滾珠絲杠平台
雙軸真空絲杠平台，三軸真空絲杆直線平台
云熙機電的超高真空直線絲杆平台提供長行程，具有最小高度可以負荷達10kg，他們有廣氾間隔的“五輥”滾筒導軌在簡單的復合機制中是有用的扭轉載荷小。他們是製造使用耐真空的特殊材料，動力使用云熙機電的耐高真空步進電機步進電機。直線運動由金剛石研磨的並校正的絲杆和螺母配合，精密研磨以保証良好的精度並將預緊絲杠位置穩定性消除齒隙。
真空平台指標
行程25-250mm , 每步的分辨率可以達到1u，零間隙，高剛性結構，負載可以達到50kg。可以直接搭載XYZ運動平台。真空度範圍是：10^10mbar以內。使用交叉滾珠導軌運動，使運動精度更高。
云熙機電科技廊坊有限公司，是一家與高校合作的科技研發企業，主營業務包含：直流無框力矩電機、音圈電機、步進電機、伺服電機以及絲杠位移台；特種產品：真空高低溫步進電機，真空核輻射步進電機，真空高低溫絲杠平台，真空輻射絲杠平台，真空電極，離子規，可根據客戶特殊要求進行開發設計定製。
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