真空直线平台：
真空步进电机丝杆平台, 真空电机直线滑台, 真空直线平台,真空滚珠丝杠平台
双轴真空丝杠平台，三轴真空丝杆直线平台
云熙机电的超高真空直线丝杆平台提供长行程，具有最小高度可以负荷达10kg，他们有广泛间隔的“五辊”滚筒导轨在简单的复合机制中是有用的扭转载荷小。他们是制造使用耐真空的特殊材料，动力使用云熙机电的耐高真空步进电机步进电机。直线运动由金刚石研磨的并校正的丝杆和螺母配合，精密研磨以保证良好的精度并将预紧丝杠位置稳定性消除齿隙。
真空平台指标
行程25-250mm , 每步的分辨率可以达到1u，零间隙，高刚性结构，负载可以达到50kg。可以直接搭载XYZ运动平台。真空度范围是：10^10mbar以内。使用交叉滚珠导轨运动，使运动精度更高。
云熙机电科技廊坊有限公司，是一家与高校合作的科技研发企业，主营业务包含：直流无框力矩电机、音圈电机、步进电机、伺服电机以及丝杠位移台；特种产品：真空高低温步进电机，真空核辐射步进电机，真空高低温丝杠平台，真空辐射丝杠平台，真空电极，离子规，可根据客户特殊要求进行开发设计定制。
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